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四氯化鈦

關(guān)鍵詞：

關(guān)鍵詞：

MO源領(lǐng)域、電子級碘甲烷和氫碘酸領(lǐng)域、高科技合成酸領(lǐng)域、多元醇酯類冷凍機(jī)油領(lǐng)域

所屬分類：

產(chǎn)品咨詢：

產(chǎn)品描述

中文名

化學(xué)式

CAS號

英文簡稱

英文名

類別

四氯化鈦

TiCl4

7550-45-0

TiCl4

Titanium tetrachloride

前驅(qū)體

 

 

四氯化鈦（TiCl4）

化學(xué)式

TiCl4

中文名稱

四氯化鈦

英文名稱

Titanium tetrachloride

CAS No.

 7550-45-0

分子量

189.679

應(yīng)用

超大規(guī)模集成電路芯片制造中廣泛地用 于沉積高品質(zhì)的二氧化鈦（TiO2）和氮化鈦（TiN）

薄膜材料和鈦金屬化學(xué)氣相薄膜沉積(CVD)的液相源材料。

產(chǎn)品規(guī)格

7N（99.99999%）

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