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四（甲乙胺）鋯

關鍵詞：

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MO源領域、電子級碘甲烷和氫碘酸領域、高科技合成酸領域、多元醇酯類冷凍機油領域

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產品描述

中文名

化學式

CAS號

英文簡稱

英文名

類別

四（甲乙胺）鋯

C12H32N4Zr

175923-04-3

TEMAZ

Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium

前驅體

 

四（甲乙胺）鋯（TEMAZ）

化學式

C12H32N4Zr

中文名稱

 四（甲乙胺）鋯

英文名稱

Tetrakis(ethylmethylamino)zirconium

CAS No.

 175923-04-3 

分子量

323.63

應用

主要用于CVD、ALD、等離子體增強原子層沉積(PEALD)工藝，是生產ZrO2的前驅體。 ZrO2在45nm晶體管的制備中代替二氧化硅，可以顯著減少漏電量，還是COMS和動態存儲（DRAM）的高k絕緣材料，是目前解決動態存儲和高清顯示技術難題的最優選材料之一；可作阻變存儲器的介質層前驅體；可作鋰離子電池正極包覆沉積前驅體。

產品規格

6N（99.9999%）

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